Semi-conducteur à gaz hexafluorure de soufre SF6

Le gaz hexafluorure de soufre SF6 est un gaz synthétique et inodore utilisé dans l'industrie électrique pour assurer le fonctionnement sûr et fiable des réseaux. Il est hautement stable, non toxique, ininflammable et électronégatif, ce qui signifie qu'il ne formera pas d'autres composés qui altéreraient son état et son efficacité.

 

Le gaz SF6 est l’un des gaz fluorures les plus couramment utilisés dans la gravure sèche des semi-conducteurs. Il se caractérise par une sélectivité élevée et un fort taux de gravure. Il convient à la gravure de matériaux à faible constante diélectrique tels que l'oxyde de silicium, le fluorure de silicium, le nitrure de silicium, etc.

 

SF6 N° CAS :2551-62-4

La formule chimique de l'hexafluorure de soufre est SF₆et sa masse molaire est de 146,00554 g mol^-1. La structure de l'hexafluorure de soufre est un octaèdre, avec 6 atomes de fluor liés à un atome de soufre central. Chaque liaison SF a un angle de 90º. Sa structure chimique peut s'écrire comme ci-dessous, dans les représentations courantes utilisées pour les molécules organiques.

 Les plasmas d'hexafluorure de soufre (SF6) sont couramment utilisés dans la gravure profonde du silicium (Si), de l'oxyde de silicium (SiO2) et plus récemment du verre de silice.

 L'hexafluorure de soufre est un composé inorganique. C'est un gaz stable incolore, inodore, non toxique et ininflammable à température et pression normales. Il s'agit d'une nouvelle génération de matériau diélectrique isolant ultra haute tension. En tant que bon isolant gazeux, il est principalement utilisé pour éteindre les arcs dans les interrupteurs haute tension et comme matériau isolant dans les transformateurs de grande capacité et les câbles haute tension. remplaçant souvent les disjoncteurs pétroliers(OCB) qui peuvent contenir des PCB nocifs.

 L'hexafluorure de soufre était le gaz traceur utilisé dans le premier étalonnage du modèle de dispersion atmosphérique des routes. Il a été utilisé avec succès comme traceur en océanographie pour étudier le mélange diapycnal et les échanges gazeux air-mer.

Xiamen Juda Chemical & Equipment CO., LTD, créée en 2004, est un fournisseur professionnel engagé dans les gaz industriels, les gaz spéciaux, les gaz électroniques et les mélanges de gaz. Nous sommes situés à Xiamen avec un accès pratique aux transports. Dédiés à un contrôle de qualité strict et à un service client attentionné, nos membres du personnel expérimentés sont toujours disponibles pour discuter de vos besoins et assurer la pleine satisfaction du client.

Pour le coût du gaz SF6, n'hésitez pas à nous contacter !