Difluorométhane R32 comme gaz de gravure sec pour Si3N4

R32 Difluorométhane également connu sous le nom de HFC-32, formule moléculaire : CH2F2, en tant que gaz de gravure anisotrope pour Si3N4, il a une sélectivité relativement faible pour SiO2 et Si. En plus d'être l'agent de gravure principal, il peut également être utilisé comme gaz auxiliaire pour d'autres agents de gravure principaux afin d'ajuster le rapport fluor/carbone.

 

R32 – Caractéristiques principales :

1. Sans appauvrissement de la couche d'ozone

2.Non toxique

3. Gaz hydrofluorocarbone (HFC)

4. Huile : POE (huile de polyolester)

À l’ère moderne de la fabrication de semi-conducteurs, où la précision et la miniaturisation sont des facteurs clés, le processus de gravure joue un rôle essentiel. La gravure est une technique complexe utilisée pour retirer sélectivement des couches de matériau de plaquettes semi-conductrices, permettant ainsi la création de modèles de circuits complexes.

La gravure sèche consiste à utiliser un gaz pour graver le support. Les méthodes courantes de gravure sèche comprennent la gravure physique (telle que la gravure par faisceau d'ions) et la gravure chimique en phase vapeur (telle que la gravure au plasma). Le gaz est utilisé pour impacter la surface du substrat afin de le rayer et sa caractéristique est une précision de traitement élevée.

Le R32 Difluorométhane est un gaz de gravure sec couramment utilisé dans les processus de gravure au plasma dans l'industrie électronique. De plus, c'est également un liquide de refroidissement sans potentiel d'appauvrissement de la couche d'ozone et il est largement utilisé dans les équipements de réfrigération tels que les climatiseurs, les réfrigérateurs et les climatiseurs de voiture. Comparé aux réfrigérants traditionnels, le gaz R32 a une efficacité de réfrigération plus élevée et un impact environnemental moindre.

Xiamen Juda est l'un des principaux fournisseurs de gaz de gravure et de solutions de réfrigération en Chine, proposant une large gamme de produits tels que le R32, le C4F8, le SF6, le CF4 et le gaz réfrigérant. Fondée en 1988 par l'un des pionniers chinois de la fabrication de produits chimiques, Juhua Group Corporation, Xiamen Juda se consacre à l'exportation de produits chimiques fluorés depuis 2004. Notre équipe s'engage à l'excellence et à fournir des solutions gazières de premier ordre pour répondre aux besoins de nos clients. Nous sommes fiers de notre réputation de longue date en matière de qualité et de fiabilité. Avec Xiamen Juda, vous pouvez être sûr que vous obtenez le meilleur du secteur.