Le FFKM est un matériau d'étanchéité haute performance. Ses excellentes performances ont permis à son application de pénétrer dans l'ensemble du système de fabrication de produits semi-conducteurs. Parmi eux, les bagues d'étanchéité FFKM sont l'un des principaux consommables nécessaires à la production de circuits intégrés.
la structure et les caractéristiques de performance du FFKM
Le FFKM est copolymérisé par du tétrafluoroéthylène (TFE), de l'éther vinylique perfluoroalkylé (PAVE) comme monomères principaux et une petite quantité de monomère à point de durcissement (CSM). Comme le montre la figure ci-dessous, tous les atomes de carbone du polymère Les atomes d'hydrogène du caoutchouc sont tous remplacés par des atomes de fluor, ce qui en fait un caoutchouc qui ne contient aucune liaison CH.
Principales caractéristiques de performance du FFKM :
1) Propriétés physiques
La densité du FFKM est de 1.9-2.0g/cm³. Ses propriétés mécaniques à température normale sont proches de celles du caoutchouc fluoré à base de fluorure de vinylidène (VDF) (FKM), mais ses propriétés mécaniques à haute température sont meilleures que celles du caoutchouc fluoré.
2) Résistance chimique
Il n'y a pas d'atomes d'hydrogène dans la chaîne moléculaire FFKM et les liaisons CC sont essentiellement entourées d'une coque composée d'atomes F, montrant une forte inertie chimique et rendant le polymère considérablement résistant aux produits chimiques.
3) Résistance aux hautes et basses températures
La température de fonctionnement du FFKM est généralement de 260 à 290 degrés et peut être utilisée par intermittence à des températures élevées de 316 degrés. Étant donné qu'un grand nombre de groupes -OCF3 sont introduits dans les chaînes ramifiées des molécules, la flexibilité des molécules est améliorée et la résistance à basse température du caoutchouc est améliorée.
4) Résistance au plasma
Dans un environnement plasma, il présente des caractéristiques de produit de grande propreté et de faible précipitation, et peut résister au bombardement plasma pendant une longue période.
Applications du fFKM dans les semi-conducteurs
Dans la fabrication de semi-conducteurs, la fiabilité des joints élastomères est essentielle, car les arrêts de production pour remplacer les joints sont extrêmement coûteux. Afin d'éviter les risques potentiels, les exigences en matière de propreté et de pureté des joints sont très strictes. En même temps, les joints doivent pouvoir fonctionner longtemps dans un environnement sous pression à haute température, sous vide élevé et avec des gaz chimiques corrosifs.
En termes d'applications de semi-conducteurs, FFKM se concentre principalement sur :
1) Joint d'étanchéité au gaz : dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, le traitement et le transport de divers gaz sont essentiels. Les joints toriques FFKM sont utilisés pour sceller les conduites de gaz, les vannes et les joints afin de garantir l'absence de fuite de gaz et de maintenir la stabilité du processus.
2) Gravure et nettoyage : les étapes de gravure et de nettoyage dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs impliquent souvent l'utilisation de milieux corrosifs tels que des acides ou des alcalis forts. Les joints toriques FFKM sont largement utilisés dans les pièces d'équipement en contact avec ces milieux, tels que les chambres de gravure, les réservoirs de nettoyage, etc. en raison de leur excellente résistance à la corrosion.
3) Transport de liquides et de produits chimiques : dans la fabrication de semi-conducteurs, divers liquides et produits chimiques doivent être transportés, tels que des solutions, des solvants, des liquides de nettoyage, etc. Le joint torique FFKM peut être utilisé pour sceller les composants de l'équipement tels que les tuyaux, les vannes et les pompes afin de garantir la distribution sûre des fluides.
4) Environnement à haute température : certaines étapes du processus de semi-conducteur doivent être effectuées dans un environnement à haute température, comme le traitement thermique, le recuit, etc. Les joints toriques FFKM ont une excellente résistance aux hautes températures et sont capables de maintenir leur élasticité et leurs propriétés d'étanchéité à des températures élevées.
5) Traitement à l'eau ultra pure : dans la fabrication de semi-conducteurs, l'eau ultra pure est utilisée pour nettoyer et purifier les équipements et les matériaux. Les joints toriques FFKM sont largement utilisés pour sceller les équipements de traitement de l'eau ultra pure afin d'empêcher l'entrée d'impuretés et de contaminants.
En raison du coût élevé des matières premières en caoutchouc FFKM, les conditions de travail dans lesquelles les joints FFKM sont généralement utilisés sont extrêmement difficiles. Dans ces conditions de travail difficiles, d'autres caoutchoucs sont sujets à la corrosion, au gonflement, à la dissolution, au vieillissement et au durcissement, etc., ce qui entraîne une défaillance de l'étanchéité et ne peut donc pas répondre aux exigences d'étanchéité. En raison de son excellente résistance à la corrosion et à la résistance aux températures élevées, le caoutchouc FFKM peut non seulement répondre aux exigences d'étanchéité des conditions de travail difficiles, mais également augmenter la durée de vie des joints et réduire les coûts de maintenance des clients.
